js1996金沙线路检测(中国)有限公司

管式低压硼扩设备

产品与服务 > 管式设备系列 > 管式低压硼扩设备

管式低压硼扩设备

低压、高温硼扩散掺杂。

设备名称 Equipment name

管式低压硼扩设备  Horizontal Low Pressure Boron Diffusion Equipment


设备型号 Equipment Model

DOA-420/DOA-420L/DOA-420MAX


设备用途 Equipment Application

低压、高温硼扩散掺杂。
Low pressure, high temperature boron diffusion & doping.


技术特点  Features 

1、成熟BBr3液态源、BCL3气态源控制与输送技术。

Matured BBr3 liquid source & BCL3 gas source control and delivery technology.

2、配套相关专利技术。
Patented technology..

3、独特双嵌套炉门结构。
Unique double-layer-nested furnace door structure.

4、高速平稳整体模组推舟机构。
High-speed and stable integral module boat pushing mechanism.

5、智能化全自动控制。
Intelligent automatic control.

6、自主知识产权MES软件。
MES software with independent intellectual property rights.

7、匹配S.C智能化生产管理系统。

Matching S.C smart production management system.

 

设备参数  Parameters

XML 地图