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全自动石英舟装卸片机

集装片和卸片一体，可从石英舟中把扩散后的硅片卸到片篮中，也可从片篮中将制绒后的硅片装入石英舟中。可在⼀个石英舟插槽中插⼊两片，实现单面扩散片工艺，也可在⼀个石英舟插槽中插入一片，实现双面扩散片工艺。采用装片与卸片可连续衔接⽅式，实现连续生产；也可单独装片或单独卸片。

全自动石墨舟装卸片机

本设备为在线式，可与一台或两台侧出舟设备对接，实现石墨舟的自动传输和硅片自动装卸，满足在太阳能电池片生产过程中的PECVD工艺前后，将片篮中的硅片自动装载到石墨舟，并将石墨舟输送到PECVD设备中，或将PECVD设备中的石墨舟输送到本设备，并将石墨舟中的硅片自动装载到片篮中。

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