js1996金沙线路检测(中国)有限公司作为太阳能电池设备的先进企业,为实现产业结构优化,提升公司在相关领域的自主创新能力和研发水平,顺应产品发展路径向半导体设备领域延伸,公司的全资子公司常州捷佳创精密机械有限公司于2019年成立了半导体湿法工艺研究室,集合国际团队重点加强对集成电路湿法设备进行研发。随着国家近年来对集成电路的支持力度不断加强、市场的强劲需求、产品研发的推进,常州捷佳创精密机械有限公司于2020年9月投资成立了创微微电子(常州)有限公司,专门从事集成电路湿法清洗工艺设备的研发、生产和销售,设备主要包含槽式及单晶圆湿法清洗设备。
截至目前,公司已取得重要客户在槽式湿法清洗设备上的批量订单,并于2021年7月21日成功交付3套集成电路全自动槽式湿法清洗设备至客户进行大批量生产。同时正在设计制造中的设备还包含了用于MicroLED、第三代化合物半导体及集成电路IDM厂的槽式清洗设备及相关附属设备,涵盖了集成电路200mm以下近70%湿法工艺步骤,包含有光刻胶去除、氧化膜刻蚀、金属膜刻蚀、炉管前清洗及有机溶剂清洗等,拥有Cassette 与Cassette less 两种类型,覆盖晶圆尺寸从100mm~200mm。
本次首批半导体清洗设备的成功交付,实现了公司在战略路线上的再次超越,从光伏装备设计及制造往泛半导体及半导体行业的拓展,也将成为国家集成电路装备国产化新的主力军。